1. 温度范围：按要求；
2. 洁 净 度：100级；
3. 波 动 度：±0.5℃；
4. 温度偏差：≤±2.0℃；
5. 工作尺寸： 按要求，深×宽×高mm；
6. 内积容升： （变量）L
7. 升温速度：≥5℃/min（全程平均）
8. 整机功率：（变量）KW；
9. 电 源：380V 50Hz

10.氮气输入阀：入气口：6mm，氧气最低含量：500ppm

室体结构及用料
1. 箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防
止微尘(PARTICLE)；
2. 内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢；
3. 保温材料：超细玻璃棉；
4. 排 气 口：ф50；
5. 隔 板：2层，不锈钢方通，承重约30KG。
6. 空气循环装置：大容量轴流电机；
7. 加热方式：不锈钢电加热器；